

這一突破為生命科學和醫療保健領域的可擴展、高精度生物傳感應用賦能 比利時魯汶2025年12月10日 /美通社/ -- Imec 成功實現了首次在 300 毫米晶圓上利用 EUV 光刻技術進行固態納米孔的晶圓級製造。這項創新將納米孔技術從實驗室規模的概念,轉化為用於生物傳感、基因組學和蛋白質組學的可擴展平台。 納米孔被譽為基因組學和蛋白質組學的顛覆性技術,但直到現在,由於變異性和整合方面的挑戰,固態納米孔從未實現大規模生產。Imec 的突破為高通量、CMOS 兼容的生物傳感器陣列鋪平了道路,這有望加速個性化醫療、快速診斷和分子數據存儲的發展。 利用 EUV 光刻技術在...